本实验室在建设过程中，得到了第四批世界银行贷款四十五万美元和学校配套资金100万元的支持。“七五”、“八五”期间，863计划和国家自然科学基金等项目的60%以上的课题经费都转化成了仪器设备固定资产。“九五”期间，本实验室得到了西安交大“211工程”和“行动计划”建设项目800万元的支持。实验室现有使用面积2500m2左右，仪器设备固定资产2500万元左右，其中10万元以上的大型仪器设备28台，价值1340万元。拥有比较完备的材料制备，性能测试，分析表征等手段和系统，实验室设施和科研条件在国内是一流的和先进的，与国外同类实验室的设施和条件相当。实验室所有仪器设备向全室开放；所有分析测试仪器设备向全校开放；向西安地区的高校和研究机构开放，向社会开放，有些设备年运行小时数在1000以上，设备使用效率较高。

    主要仪器设备

1、 X-射线衍射仪（D/MAX-2400）
2、 电子能谱仪（VG-MK-II）
3、 综合热分析仪（TA2000）
4、 原子力显微镜（D3100CAP）
5、 扫描电子显微镜（KYKY-1000B）
6、 粒度分析仪（CAPA700）
7、 亚微米粒度分析仪（BI-90）
8、 热膨胀仪（DIL402C）
9、 比表面空隙度分析仪（ASAP2010N）
10、电子材料测试系统（4284A,4193A,4294A）
11、频射阻抗材料测试仪（HP4291B）
12、网络分析仪（8720ES）
13、2GPa净压力测试系统（RT-200C）
14、激光器（GCR-170-10）
15、光学多道分析系统（OMA4）
16、信号检测与分析系统（4420）
17、锁相放大器（5302）
18、数字示波器（TDS724C）
19、金属有机化学气相沉积工艺装(MOVCD)
20、磁增强反应离子刻蚀机（ME-3A）
21、键合机（7400C）
22、水平层流净化室（1000级）垂直层流净化室（100级）